晶圓廠為何要用天車(chē)搬運(yùn)晶圓？

晶圓廠為何要用天車(chē)搬運(yùn)晶圓？

晶圓廠的主動(dòng)化水平有多高？

聽(tīng)說(shuō)，在臺(tái)積電的廠區(qū)中，有著長(zhǎng)達(dá)50公里的天車(chē)軌道，5000多個(gè)軌路途口，2000多臺(tái)晶圓傳輸盒子在同時(shí)活動(dòng)，天天必要運(yùn)送60萬(wàn)車(chē)次的晶圓…

為什么要用這種天車(chē)來(lái)搬運(yùn)晶圓？人工搬運(yùn)就不可嗎？

眾所皆知，晶圓制造是人類(lèi)迄今為止最繁復(fù)的制造業(yè)之一。

一片晶圓要在幾百臺(tái)消費(fèi)裝備間流轉(zhuǎn)，數(shù)十次重入同典范的加工裝備，顛末成百上千道工序，才會(huì)誕生數(shù)百顆指甲蓋輕重的芯片。

而承繼晶圓廠空中運(yùn)輸?shù)闹饕b備，就是這個(gè)天車(chē)。

約莫各位不曉得，芯片制造所處的情況，要比病院的手術(shù)室還要干凈10萬(wàn)倍。

任何弱小塵土或沾染物都約莫招致晶圓毀壞，從而影響芯片的產(chǎn)出率和質(zhì)量。

假如使用手動(dòng)搬運(yùn)的辦法，不僅風(fēng)險(xiǎn)很高，容易招致晶圓毀壞，并且還會(huì)帶來(lái)塵土大概其他沾染。

而天車(chē)在關(guān)閉的軌道內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)，可以大大減小晶圓暴露在外界情況中的風(fēng)險(xiǎn)，從而好效制止沾染成績(jī)。

其次就是聽(tīng)從。

晶圓在制造歷程中必要顛末數(shù)百個(gè)不同的工序，這些工序要在多個(gè)自用裝備之間舉行。

而天車(chē)經(jīng)過(guò)內(nèi)里精密的盤(pán)算機(jī)控制，可以一連無(wú)中斷的，快速且精準(zhǔn)地將晶圓從一個(gè)事情站挪動(dòng)到另一個(gè)事情站。

說(shuō)的再普通點(diǎn)，只需有電，它就能不休實(shí)行搬運(yùn)職責(zé)，這是人工再怎樣積極，也無(wú)法到達(dá)的。

由于天車(chē)對(duì)整個(gè)產(chǎn)線的安定運(yùn)轉(zhuǎn)來(lái)說(shuō)太緊張了，因此晶圓廠尋常都市使用業(yè)內(nèi)成熟度比力高的產(chǎn)物。

現(xiàn)在，在舉世晶圓天車(chē)市場(chǎng)中，主要被日本村田機(jī)器和日本大福所把持，市場(chǎng)占據(jù)率達(dá)95%以上。

固然不確定日本會(huì)不會(huì)拿這個(gè)卡我們脖子，但依照以往的履歷，天車(chē)的國(guó)產(chǎn)交換是一定要有的。

好的消息是，現(xiàn)在以前有一些國(guó)產(chǎn)天車(chē)，被使用到實(shí)踐消費(fèi)中。

固然了，也不是一切的晶圓廠都市用到天車(chē)，好比6寸的晶圓廠就不必要。

由于比擬之下，6寸的晶圓較輕，通常情況入手動(dòng)搬運(yùn)大概使用較小的主動(dòng)化裝備，就可以了。

再者，天車(chē)體系的價(jià)格十分昂貴。

據(jù)悉，12寸晶圓廠中一套完備的天車(chē)主動(dòng)化搬運(yùn)體系，占晶圓廠安穩(wěn)投資的3%支配。

也就是說(shuō)，假如投資300億美元建廠，這套搬運(yùn)體系就要花掉9個(gè)億。

以是有人就說(shuō)，這種天車(chē)約莫是舉世最貴的小車(chē)，也是有真理的。